冷却塔水需要大量处理。在冷却塔水处理过程中，必须控制三个主要因素：
 
    管道和热交换器单元的腐蚀
    管道和（主要）在热交换器和管道中的结垢
    微生物生长（细菌，藻类）。
 
这三个方面是相互关联的。例如，较低的pH值可以防止结垢，但它们会增加金属腐蚀。通过臭氧处理，可以集体控制所有这些方面，而无需进一步添加化学品。
冷却水
 
冷却塔系统的循环水一直是微生物生长的理想场所。温暖的水温和流经塔的洗涤空气中的营养物质的添加为微生物和藻类的生长提供了理想的条件。在这里，这些生物以惊人的速度繁殖。结果是由于流动阻塞导致的系统效率降低，由于腐蚀导致的设备寿命缩短，由于更高的泵送功率要求而增加的操作成本以及疾病的传播甚至死亡。
 
传统的冷却塔水处理涉及使用各种金属化合物，有机杀生物剂和Ph稳定剂进行化学处理。虽然这些化学物质可能是一些有效的生物杀灭剂，但这种化学物质及其副产物的混合物会破坏水的质量。这反过来又增加了排污量，从而减少了冷却塔中的浓缩循环。此外，细菌发生变异并对化学物质产生抗性，这需要改变化学物质。
 
臭氧是对所有微生物有效的最快作用和最有效的氧化剂。如果使用得当，臭氧会杀死所有病毒，细菌，囊肿和藻类。微生物不能建立对臭氧的抵抗力;即使长时间使用臭氧也是如此。臭氧在臭氧发生器中产生，通常以分支流的形式连续注入冷却水系统。